半導體大躍進功臣林本堅：先退再進才容易成功

周品均

科技

攝影/陳俊銘

917期

2014-07-17 12:58

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一個將「業界工作做到世界頂尖」的貢獻，讓他成為中研院首位來自產業的院士。他的理論，徹底改變台積電與半導體產業的命運，他是台積電研發副總經理林本堅。

中研院新科院士名單公布的五天後，那是一個萬里無雲、全台壟罩在熾熱豔陽的下午，林本堅在台積電總部接受《今周刊》團隊專訪，這是行事低調的他近十年首度接受媒體專訪。

頭髮灰白，身著簡單淺色襯衫、打著領帶的林本堅，看來才剛把手邊研發工作暫告一段落，神情仍略顯嚴肅，但他開口第一句話卻是關心我們的拍照需求，「需要我穿上西裝外套讓你們拍照嗎？」

用一滴水幫助半導體躍入新未來

二○○二年夏天，一場在美國舉行的半導體研討會，徹底改變產業未來十年的發展。一位來自台灣的工程師，大膽提出以「水」作為介質的浸潤式微影技術，開啟了半導體新的一頁。讓製程得以順利推進六五奈米以下世代，也將台積電推向足以和ＩＢＭ、英特爾等半導體巨頭並駕齊驅的領導地位。

這位改寫半導體微影藍圖的關鍵主講人，就是現任台積電研發副總經理的林本堅。台積電前共同營運長蔣尚義就曾說：「全球專精此技術的不超過十人，林本堅是排名很前面的一位。」

十二年過後，林本堅的浸潤式微影技術已引領產業往十奈米推進，台積電早在五五奈米就已經超越ＩＢＭ陣營，而他仍堅守研發崗位，正在為幾年後的技術做足準備。

這樣的精神與成就讓林本堅在今年獲選為中研院院士，並且開創國內最高學術殿堂首次選出非學界院士首例。

林本堅得知消息後表示：「我也很好學啊！以後就有機會與別的院士溝通，讓產業界與學界交流，做出符合業界需求的研究。」中研院院長翁啟惠也盛讚林本堅：「令人驕傲，將業界工作做到世界頂尖。」

「他在學術上的成就，絕對是數一數二，但他卻一點傲氣也沒有。」台積電企業訊息處處長孫又文如此形容她認識十一年的林本堅。

自台積電前共同營運長蔣尚義去年退休後，台積電的五位研發大將，直接向董事長張忠謀匯報工作，林本堅就是其中一位，他帶領的研發團隊多達六百人。

二○○○年台積電面臨變革，決心不與ＩＢＭ授權合作，自行投入研發。一通來自台灣的電話，讓原本創業美商領創公司的林本堅開啟了人生新的一頁。

「是蔣爸（蔣尚義）打給我，希望我去台積電面試。」同時間林本堅要參加一場在美國西岸的會議，蔣爸對他說：「既然從美國東岸飛到西岸，就順便來台灣面試吧！」

林本堅笑著說：「我說不過他，所以我就來了。」蔣尚義對於黃光製程技術發展的構想，正好與林本堅相似，「英雄惜英雄」的情懷，最終讓林本堅結束八年的創業時光，選擇加入台積電團隊。

用研究數據消弭公司內部疑慮

○二年，就在林本堅加入台積電團隊的兩年後，當時業界面臨製程往六五奈米推進的發展瓶頸，他發現以水作為微影成像介質，可以延續業界本來就很熟悉的一九三微影技術生命。

不過，他的重大發現卻觸怒其他已在新一代一五七奈米乾式微影技術投下逾百億元的廠商。當時出現不少聲音，希望台積電能「管」一下林本堅。「其實我那時候沒感覺到太大壓力，因為很多阻力都由我老闆擋下來了！」從林本堅的話語中，不難聽出他對蔣尚義的感謝與欽佩之意。

不僅半導體業界對林本堅的新技術議論紛紛，當年台積電團隊也出現不少雜音。「內部曾覺得這項技術太難，質疑技術的發展。」但林本堅並未被反對聲浪擊敗，「我當時在技術期刊上發表至少六篇論文，針對水中成像的基礎理論、氣泡、均勻度等問題進行計算，為的就是一個個解決他們的疑慮。」

林本堅的浸潤式微影技術，成為台積電在五五奈米後一舉超越ＩＢＭ陣營的推手，此後台積電在奈米的推進上不斷創造下奇蹟。

張忠謀總是鼓勵內部：「jump through the hoops（跳火圈）。」意思就是遇到挑戰就像跳火圈一樣，林本堅笑說，為了每兩年推進一個製程世代，「我們只能努力做，不管怎樣就是要在兩年內做出來。」

「你鑽過洞嗎？」訪談中林本堅提出這個問題。「鑽洞理論」或許是他往往能成功達成目標的原因，這是他推崇的適時休息概念。他解釋，要鑽一個很硬的東西時，會在鑽了一段時間後，發現阻力變得很大，他以自己的手指作為鑽洞示意，「這時，你必須停下來，回來一點，然後再鑽，最後才容易成功。」

「他個性低調，很專注在研發，對權力或位置都沒有太大興趣。」一位台積電員工私下透露他所觀察到的林本堅。

林本堅是台積電微影技術的掌門人，他透露自己的研發工作已經看到二○一八年，那已是比下下代十奈米技術還要再遠的事情了。「但你現在不做，到時候就來不及了。」林本堅的前瞻性，就是台積電與追兵保持距離的最大武器。

在台積電工作十四個年頭，林本堅笑稱：「現在的工作最難。」他正在研發一項電子束成像技術，「因為還沒做出來，所以我覺得現在是最困難的時候。」

用實驗精神擁抱運動、藝術與生活

即使心中已盤算著「什麼時候要退休」的念頭，林本堅仍然每天堅守他的研發崗位，是個不折不扣喜歡挑戰的科學家。

生活中的林本堅則是個擁抱藝術、興趣廣泛的人，不過，他的科學家特質不僅用在研發工作上，連他自己愛的網球、年少時代學習的小提琴，以及從十三歲開始就喜愛的攝影，都是他發揮科學家實驗精神的最佳場域。

現年七十二歲的他很熱中網球，在愛上網球之前，他也打過羽球與桌球。和太太感情很好的他說：「我的祕訣是選在太太還在睡覺的時間打網球，這樣不會減少與太太的相處時間。」因此，他總是在早晨七點現身在台積電網球場。

研發經驗逾四十年的林本堅，也關注人才與技術培育議題，台積電近年來與多所學校進行產學合作，為的就是挖掘與支援新的「革命性的技術」。

「我們不怕新的東西難以商業化，因為台積電本來就擅長商業化。」林本堅露出燦爛的笑容說。

他也不避諱談起自己的退休計畫，「我首先要幫公司找到一位繼任者。」現在的他每周都會參加竹南勝利堂教會活動，閒不下來的他已規畫「晚美人生」的兩大目標：第一是鑽研神學，另一個就是把鋼琴學好。

林本堅（右前）夫婦的好感情眾所皆知，兩人還曾在台積電的活動中一起演唱。