「創業時想的是一二三，成功卻是因為ABC」清大教授跳出來創業，如何從燒光千萬到前進美國半導體市場？

手握關鍵技術創業，就一定能保證成功嗎？半導體設備廠明遠精密科技（簡稱明遠），如今憑藉設備維修與自有設備開發，不但成為全球半導體設備龍頭指定的合作夥伴，也攻進台灣、美國晶圓龍頭大廠。

今年前11月，明遠營收6.63億元、上半年每股稅後純益（EPS）則為1.98元。它的服務能耐也獲國際客戶肯定，除2024年年中，明遠已決定和母公司日揚啟動在日本當地服務，同時美國設服務中心、甚至設廠計畫，也正與客戶緊密討論中。

從射頻／微波電源、感測器，到臭氧產生器、靜電吸盤等在內，明遠的維修服務，涵蓋了半導體設備所需的各種項目，「像是物理氣相沉積（PVD）設備，需要的電源、控制器，我們也有維修。」明遠董事長寇崇善指出，從維修服務累積經驗，以及與客戶建立的信任關係，是明遠後續開發自製設備的基礎。

• 臭氧產生器：以高電壓放電產生臭氧的設備，在半導體製程中需要真空環境的階段，真空腔體於反應過程中會沾附殘餘反應物於腔體內，此時須使用臭氧產生器製造臭氧清潔腔體。

很難想像，這家半導體供應鏈的台灣之光，在創業初期，教授出身的寇崇善，卻曾因為選錯市場，一度燒光創業資金。

創業頭3年碰壁  機會卻乍現

時間回到2010年，當時，深耕學術領域、今年65歲的寇崇善，早有在產業界發展的念頭。寇崇善大學同學、清華大學原子科學院副院長柳克強觀察，清大在電漿領域的研究，正是美商應材、科林研發等國際大廠寡占的市場，「我跟他（寇崇善）都是做電漿源技術，在鍍膜、蝕刻上的製程應用。」

這樣的研究基礎，讓寇崇善的實驗室，在他創業前就已成為竹科多家半導體公司解決設備問題的據點。又加上，當時他評估以自己的技術，鎖定微型鑽頭上的類鑽鍍膜開發，能將鑽頭壽命延長3倍，「散熱也很好，我們還去申請專利。」企圖開發專用設備，打進市場。

於是，靠著自己與親友的資金，以1350萬元資本額成立明遠，寇崇善開始步上創業路。

沒想到，他一創業才發現，設備規格、部件早就被國際大廠指定，「鑽孔的標準作業流程都寫好了，業界沒有人要用我們的產品。」寇崇善坦言，就這樣一路碰壁了3年，不但教職、創業兩頭燒，還把最初的1千5百萬元創業資金給燒光。

「晚上看財務報表，都睡不著……。」寇崇善回憶，2013年的明遠已經得靠親友的資金支持，眼看公司前景茫茫，機會卻突然到來。

原來，過去在清大協助業界，解決半導體設備異常的經驗，讓一家國際級二手設備商找上門。「他知道我們會做臭氧產生器，所以找上我們。」

「對方說能不能投資我們，我說『當然可以』。」寇崇善直言，當時對方的投資猶如救命浮木。

臭氧產生器有多難？寇崇善舉例，半導體製程的規格，是每分鐘要能產生40公升高純度臭氧，「遠超過一般應用臭氧產生器。」台灣半導體製程設備廠、天虹科技執行長易錦良指出，包含設備尺寸、進出氣控制與功耗等要求，也須有能力配合開發。

必須與半導體設備系統整合的特性，讓過去想維修臭氧產生器，多半只能找美國設備廠萬機科技（MKS），這給了具備臭氧產生器維修能耐的明遠，趁勢崛起的機會。

事實上，對寇崇善來說，設備維修的經驗，早在2003年、另一家公司立盈科技成立時，就開始累積。當時，工研院微波組的成員找上寇崇善，協助維修真空腔體的周邊設備，「日揚投資立盈，做真空腔體的清洗，還有微波設備的維修。」半導體零組件廠、宏碩系統總經理陳漢穎指出，寇崇善在立盈時就接觸各類半導體設備的疑難雜症，也會向宏碩採購真空微波管等零件，將老舊設備修復完備。

轉進維修設備服務  首嘗獲利

走上創業時沒有計畫的發展，半導體維修事業卻讓明遠在2014年首次獲利，「第一年營收快兩百萬，我說同仁太辛苦，把獲利全部發掉。」寇崇善沒想到的，首次獲利僅僅只是開始。隨著在維修領域打響名號，國際半導體設備龍頭廠也找上門，尋求合作。

「一開始，他們只是在找台灣維修供應鏈。」寇崇善回憶，當時對方開出了安全性、臭氧濃度控制、使用壽命等規格必須一致，成本要做到原廠價格一半的要求。「但對方保證未來有一定的量，我們還是可以有利潤。」

於是用了兩年的時間進行開發，最終在2016年取得認可，簽約成為該設備龍頭廠「唯一」、在臭氧產生器系統全球策略維修夥伴，深化對晶圓製造廠等半導體客戶的服務。

原本一度要賠錢倒閉的創業路，在有了維修事業百萬營收的穩健基礎上，寇崇善再次起了自製設備的夢想。

▲明遠團隊從維修服務累積經驗，藉此找出市場上有開發價值的設備需求。（攝影／蕭芃凱）

自製設備需求穩  拚5成營收

2017年，明遠團隊接觸到交通號誌設備廠、日本京三的半導體部門團隊，「它有個小型的電源控制器，我們就拿來做ACME（高效率節能射頻電源系統）。」寇崇善想的，是用明遠的技術整合成半導體設備，解決傳統微波設備產生電漿的耗電、容易故障的問題。作法，是把產生微波、電漿的作用機制，徹底改造。

不過，明遠副總經理潘彥儒指出，首次設備測試並不成功，經過團隊修改系統演算法之後，第二次測試才獲得半導體客戶認可。

憑藉著新設備能夠節能60％以上的優勢，明遠這套設備逐漸打進半導體市場，並在經歷一年驗證後，成為全球晶圓代工龍頭的標準製程機台。

儘管維修服務仍是明遠主要營收來源，但自有設備不但銷售更穩定，也能深化和客戶的關係。而在臭氧產生器的領域，明遠也與天虹合作開發新型設備，一改過去傳統設備大流量的設計，雙方合作以設備小型化、卻能維持高濃度臭氧的技術，打造另一個本土半導體設備競爭優勢。

目前，毛利率較高、挹注6成營收占比的維修服務，是明遠最主力事業，但從2017年開始發展的自有設備，營收貢獻也來到四成左右。有別於容易受景氣波動、晶圓廠稼動率下降而減縮的維修需求，自有設備相對穩健，明遠的目標是要讓自有設備的營收占比，達到5成以上。

儘管與客戶關係穩健，但半導體產業的景氣下行，仍導致明遠今年前11個月營收年減0.87％，上半年獲利則年減23％，上半年毛利率則是38.6％。

展望後市，凱基投顧研究報告指出，除了預期2024年晶圓廠設備支出可望復甦、年增率預期達15％，有利於明遠等設備廠需求提升，全球地緣政治帶動的半導體自主化，也將是另一個設備需求的成長動能。

寇崇善就以美國晶圓大廠客戶為例，明遠過去僅服務其中國廠區，但隨著晶圓代工產業在成本與效率改善的重視，讓台灣半導體供應鏈也有了參與的機會。為深化在美國供應鏈的布局，目前明遠也規畫美國階段性發展，並思考未來在美國設廠的可行性。

從清大校園前進美國半導體市場，寇崇善笑說這是過去不曾想到的，「創業的時候想的是一二三，但成功的卻是因為ABC。」只是過程中，不變的是他在專業領域的深耕，在外界看來小眾的電漿研究實驗室中，孕育出半導體維修服務和自有設備開發的台灣之光。