回到熊本官員的台灣行，這一趟，檢驗的不只是半導體環保資優生台積電。10月4日，調查報告出爐，名稱頗長，《關於台灣地區半導體相關企業集中的環境影響現場調查》，換言之，這是「地下水之城」、「日本環境首都」所在地的官員、學者，對台灣各家半導體業者環保能耐的一次完整檢驗。
報告顯示正面訊息，「即使採用（比台灣）更嚴格的日本標準，大多數項目都能達標。」貫穿文內、不時被熊本官員提及的這個關鍵句，宣布了台灣半導體業者「順利過關」；而在通過嚴格考驗的背後，更代表國內半導體廠對環保的重視，以及背後一群為護國群山解決問題的環保尖兵，儼然已是台灣半導體產業競爭力的重要一環。
一切，從這趟終極考驗的第一關開始看起：水。
簡單一個水質檢驗，熊本縣官員就分成多個區塊進行觀察，包括竹科、中科兩地科學園區的廢水處理廠排水處、周邊地下水、鄰近河川等；而後兩者還依據與排水口的距離進行不同檢測。「大多數項目都在日本的排水標準範圍內，且許多重金屬的檢測值低於檢測（最小）極限值。」不管在哪裡驗，報告都會提到這一句。當然不同區域仍有部分項目略微超標，對此，報告表示「證明與科學園區無關」、「台積電的熊本廠將會符合標準」。
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台積成產業環保意識提升關鍵
廢水處理技術與半導體同步演進
對於這份受到肯定的成績，長期耕耘國內工業、半導體用水過濾領域超過30年的旭然國際，感觸頗深。「早期，工廠可能都是直接排放廢水，後來慢慢地工廠陸續搬到工業區裡，開始受到工業區規範，排放廢水到工業區的地下汙水處之前，必須先處理到一個程度⋯⋯。」旭然總經理何宜瑾表示。
論及整體半導體產業對環保態度更明顯的分界時間點，多數業者直言，「大概是台積電生意愈做愈大的時候，又或是鴻海開始接蘋果訂單的時候。」畢竟，國際指標客戶會檢驗工廠是否符合法規，沒有達標就會要求改善，層層影響下，業者的環保意識也隨之快速提升。
當半導體廠對於「水」的環保意識提升，對提供解方的環保業者來說，就必須迎接一連串的高難度挑戰。以廢水處理來看，專攻化學廢液回收的信紘科技董事長簡士堡就表示，隨著半導體製程演進，廢棄物的種類以及量體不僅會同步增加，處理難度也會更形複雜，「有機溶劑的清運費用，近年來每年上漲達3至5％。」他說。
簡士堡解釋難度提升的原因，「半導體製程的奈米數字不斷縮小，代表必須清洗晶圓上體積更小的汙染物，」因此也會有新的清洗藥劑開發、清洗流程也會增加；再者，為了達到更快的傳輸速率，新材料也持續導入晶圓製造，「這些新的藥劑、流程，以及材料，都會造成廢棄物的種類以及數量增加，而加劇廢棄物處理的挑戰。」
廢液的種類、數量增加，本身已讓處理過程更加複雜，「那些新的化學品，又是愈來愈難搞定。」何宜瑾表示，不同化學品的廢液，必須找到符合化學相容性的管路材質，而每一次的半導體製程突破，就會用到愈來愈多的稀有元素，「你可以想像，化學元素表裡面常見的元素愈來愈少，罕見的元素卻在半導體製程上愈來愈多，處理門檻大幅提升。」
業者描述的挑戰情境，其實可以在晶片製程從十奈米轉進七奈米的影響，略窺其中奧妙。
2017年5月，全球半導體設備大廠美商應用材料宣布，為了達到更佳的導電性與減少功耗，將在個位數奈米（也就是小於十奈米）製程上，導入「鈷」這項材料。新材料登場，果然立刻引發新的環保需求，以台積電為例，在公司2018年的永續報告書中就表示：「因應製程變更、改以金屬鈷為新一代導線材料，（公司）新增高濃度含鈷廢水及研磨含鈷廢水分流處理系統⋯⋯。」
隔年，台積電內部一份《論先進製程廢水全鈷回收》的研究報告更寫到，「晶圓製程演進造成鈷用量增加，急需新廠務技術減少廢棄物清運。」報告點出，包括電鍍製程與清洗製程，都會產生新的含鈷廢液。文中並提及，到了2019年8月，「台積電新竹廠區已建置全鈷回收系統⋯⋯。減廢費用與鈷販售效益，預估投資報酬率（ROI）約○．六年（編按：應指投資回收年限）。」
廢水分流多達38種 水資源不浪費
台積敢承諾熊本用水回收率75％
雖然這份報告包含了投資報酬率的預估，但半導體化學設備供應商、也跨入化學廢液回收領域多年的朋億總經理馬蔚表示，其實，如今半導體客戶對於環保設備的投報率、投資回收期這些事已經不太在意，「五年前跟多數客戶提到『回收』，對方會看投報率；現在，客戶都願意把投資年限拉長，因為要把碳稅這些新的成本等加進去。」
客戶不在意投資報酬率，但對協助半導體廠搞定環保難題的業者來說，隨著挑戰愈趨複雜，看到的卻是滿滿商機。
馬蔚舉例，「以前的工業廢水，可能簡單分成五到六種排放，但現在為了環保或是回收，可能要分成數十種類別，使管線數量大增，材質也要更好。」他進一步解釋，以前可能好幾種廢水混在一起，濃度中和後，對於管線材質要求沒有那麼高；但現在細分成數十種後，有些強酸或強鹼的濃度非常高，自然需要相對應材質的管線，都使成本上升。
再以台積電的廢水管線為例，公司曾在企業社會責任報告書提到，早期，廢水分類「只有酸鹼中和系統及混凝沉降系統」；到了一一年的社會責任報告書中則揭露：「台積公司採取嚴格的前端廢水分類分流策略⋯⋯，目前廠房內之分流管最多高達二十幾種。」再過十多年後，台積電2022年永續報告書中寫的，是已「建立38種分流系統」！
分流愈多，代表設備業者商機愈大，也代表半導體能擠出更多可以再利用的回收水，進一步減少浪費水資源。事實上，在「地下水之城」日本熊本縣，台積電就做出了挑戰極度高標的回收水承諾。
台積電對本刊表示，目前，「台積公司訂定2030年台灣廠區再生水替代率，達60％以上之目標⋯⋯。」公司指出，現階段各晶圓廠布建的用水回收處理設施，已做到「一滴水可循環使用3.5次」的成果。但，這些承諾與成果，在台積電將於熊本縣啟用的JASM（中文全稱為「日本先進半導體製造」公司）新廠身上，還要再往上跳。
台積電指出，位於日本熊本的JASM，「將『因地制宜』落實對環境的承諾。」因地制宜的承諾是什麼？要在把地下水當成命脈的熊本縣設廠，台積電強調，JASM預計將有超過30種不同廢液處理程序，目前規畫之廠區用水回收率，為75％以上！」
不只是水，這回熊本縣官員檢驗台灣半導體廠周邊環境的另一個重頭戲，是空氣品質。
能排除98％以上揮發性有機化合物
熊本調查小組讚台積排放氣體表現
2020年，美國哈佛大學研究員古普塔（Udit Gupta）發表一份論文，「根據英特爾、超微、蘋果、臉書、谷歌、華為、微軟和台積電的《永續報告書》，我們發現，硬體製造過程是碳排放主因。」對半導體業者來說，論文報告的下一句結論更是警訊：「晶片製造，又占了資通訊硬體碳排放的大部分。」
這份報告的結論，顯然也成為日本「環境首都」所在地熊本縣必須緊盯半導體空汙的原因。不過在國內環保業者的觀察中，相對於水汙染，台灣半導體廠對於碳排放、空汙問題，必然更早開始、也已經更有力度地進行改善。
自1991年就為台積電服務、目前客戶包含多家半導體廠的廢氣處理業者華懋科技表示，早在90年代，國內相關法規還不算完整之前，具領導地位的指標性半導體大廠已提早行動，設法解決半導體廠的揮發性有機化合物氣體。
當時，半導體業者的壓力或許來自於國外品牌大客戶，現在，蘋果電腦已承諾2030年達到碳中和，供應鏈的壓力更大，而來自法令的框架也持續加壓，「環保署有規定，廠房環保設備如果出問題，工廠在24小時內就必須停工。」華懋董事長鄭石治表示，在半導體產線上，一旦停工，就可能是數億元的損失。
也因此，熊本縣這趟來台的調查結果不算令人意外：「監測結果顯示，符合台灣的環境基準⋯⋯。且大多數調查項目也都在日本的環境基準範圍內。」報告指出，雖然懸浮微粒（PM 2.5）、光化學氧化劑（O3）和非甲烷碳氫化合物（NMHC），略微高出日本的環境基準，「但確認不是由科學園區造成⋯⋯。主要受到來自大陸的汙染物質流入，以及位於台中市、世界第6大的燃煤火力發電廠影響。」
在日方的報告中提到，台積電廠區目前的排放氣體，「已能排除九八％以上的揮發性有機化合物。」這個數字，台積電對本刊有了更精準的補充，「至2022年，揮發性有機氣體的削減率，已達98.9％！」此外台積電表示，同時間的鹼性氣體及細懸浮微粒削減率，也已分別達到90％與91％。
「台積電熊本廠有確實遵守日本相關法規，在各項環境標準上，都是符合日本標準的，這點沒有問題！」熊本縣環境政策課代表宮原薰這麼說。事實上，不只關注台積電與台積電的熊本新廠，她也是這次製作「台灣半導體環保過關」報告的負責人：「這此我們走訪的科學園區，也都有確實遵守台灣的環境法規。」一句話，等於對園區內的半導體廠環保表現按了個讚。
除了廢水與空氣，廢棄物也能再生。例如以往科技大廠不時傳出銅汙泥棄置事件，但衛司特公司透過電解回收系統，將電子業高濃度含銅廢水轉化為金屬銅管，回收出含銅純度大於99％的固態金屬銅。業界人士透露，台積電2018年曾在企業社會責任專區上傳影片「硫酸銅廢液的變身之旅」，內容便是示範如何以衛司特的設備，將廢硫酸銅轉製為再生銅管。
有了「液中求銅」術後，不僅去除環境汙染的風險、省下清運費用，更將這些原本大家厭惡的廢棄物變成具高附加價值的金屬。衛司特董事長林世民分析，要花的只有電費而已，以回收一噸銅來說，3至5度電約12元，但1公斤銅能賣240元，可從無到有另外創造出95％的價值。
台灣半導體業練出堅強環保供應鏈
高客戶黏著度反映客製化、寡占特性
通過嚴格考驗，某種程度，也代表台灣半導體產業練出的環保供應鏈具一定實力。今年7月，證交所在股票分類中新增四項產業類別，「綠能環保」類股是其中一項。事實上，由於半導體產業的環保需求標準嚴苛，而台灣又是半導體重鎮，因此，確實已經培養出許多值得注意的環保尖兵，而不少以往市場並不熟悉的小公司，也紛紛邁進資本市場。
實際探究這些公司，可以發現它們其實動輒都已成立2、30年，且各有專精，甚至形成寡占性產業，並且，在必須客製化量身打造之下，因此客戶黏著度也普遍居高。
根據環境部最新調查，國內整體汙染防治支出近兩年大幅躍升，從2020年的1778億元，隔年就跳升到約1924億元，增幅8％以上。環保商機方興未艾，而一場來自日本的考驗，也讓國人看見了台灣環保供應鏈的真實力。
